микроструктура и состав слоев, формируемых в процессах ионно-плазменной обработки поверхности сплавов алюминия

В.В. Поплавский1*), О.Г. Бобрович1), В.Г. Лугин1) 
А.А. Могдалова2), И.Л. Поболь2)
1) Белорусский государственный технологический 
университет, Минск, Беларусь
2) Физико-технический институт НАН Беларуси, 
Минск, Беларусь
*) e-mail: vasily.poplav@tut.by

Проведена комбинированная ионно-плазменная обработка поверхности алюминиевых сплавов, включающая  ионно-плазменное азотирование и последующее ионно-ассистируемое осаждение металлов из плазмы вакуумного дугового разряда, возбуждаемого в парах осаждаемого металла. В процессе ионно-плазменного азотирования в среде, содержащей азот, аргон и водород в различных комбинациях, получены азотсодержащие с включением кислорода слои толщиной ~(1,0–1,5 мкм). При этом микроструктура сплава не претерпевает существенных изменений. При последующем ионно-ассистируемом осаждении металлов из плазмы вакуумного (~10−2 Па) дугового разряда сформированы многокомпонентные аморфные слои толщиной до 50 нм, включающие атомы осажденного металла, азота, компонентов подложки, в том числе кислород оксидной пленки, и примеси углеводородов. Морфология поверхности несколько изменяется за счет ионно-ассистируемого осаждения металла. Захват значительного количества газов из остаточной атмосферы вакуумной рабочей камеры и включение их в состав формируемого слоя имеют место при осаждении на поверхность алюминия и других вентильных металлов (титана, тантала) и их сплавов переходных металлов, обладающих геттерными свойствами [1].
ЛИТЕРАТУРА
1.	Poplavsky V.V., Bobrovich O.G., Dorozhko A.V., Matys V.G. // J. Surf. Invest.: X-Ray, Synchrotron Neutron Tech. – 2024. – Vol. 18, No. 5. – P. 1065–1071.